【摘 要】
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采用溶胶-凝胶旋涂法并结合氢气还原工艺，在Si(001)基片上制备了FeCo/SiO2复合薄膜，利用X射线衍射、原子力显微镜和振动样品磁强计研究了 SiO2含量对薄膜样品的结构、形貌和磁
【机 构】
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吉林师范大学 功能材料物理与化学教育部重点实验室
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采用溶胶-凝胶旋涂法并结合氢气还原工艺，在Si(001)基片上制备了FeCo/SiO2复合薄膜，利用X射线衍射、原子力显微镜和振动样品磁强计研究了 SiO2含量对薄膜样品的结构、形貌和磁性能的影响。结果表明，随着SiO2含量的增加，FeCo/SiO2薄膜中FeCo的晶粒尺寸减小，样品的矫顽力呈现先略有降低然后增加的趋势。当w(SiO2)低于43%时，FeCo具有较明显的(200)晶面择优取向。当w(SiO2)为23%时，FeCo的(200)晶面择优取向度最高，样品的矫顽力最小，复合薄膜具有较好的软磁性能和较大的垂直磁晶各向异性。
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