【摘 要】
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报道了声表面波(SAW)后工艺环节对基片粘接剂的固化程度、不同制作条件、不同封帽环境制作的滤波器,通过在高温、负温以及高温加速老化后的器件性能变化,来研究SAW器件的可靠
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报道了声表面波(SAW)后工艺环节对基片粘接剂的固化程度、不同制作条件、不同封帽环境制作的滤波器,通过在高温、负温以及高温加速老化后的器件性能变化,来研究SAW器件的可靠性.结果表明:器件的插入损耗随老化时间逐渐增加;器件插入损耗的稳定性明显依赖于封装的湿度和器件表面的状态;器件的气密性随老化时间,器件的老化会更明显.结论是:器件必须要在清洁(净化)的环境中制作,清洁的器件表面第一重要;干燥的封装是器件性能稳定的重要条件;器件、组件老化到一定程度后,将不会有较大的性能变坏现象出现.这些研究成果,对防止或控
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