反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的研制

来源 :光学精密工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户：STTELA

【摘要】

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介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的镀膜材料YbF3替代传统的有放射性红外镀膜材

【作者】

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冯君刚王笑夷徐颖高劲松

【机构】

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中国科学院

【出处】

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光学精密工程

【发表日期】

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2004年z2期

【关键词】

：

离子辅助沉积红外高能激光分色镜 YbF3薄膜激光阈值光学薄膜

【基金项目】

：

国防科工委项目基金资助,项目编号:MKPT-01-111(ZD).

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介绍了利用离子辅助在ZnSe基底上沉积YbF3和ZnSe制作反可见、中红外、透10.6 μm高能激光分色镜的理论和工艺方法.采用红外优秀的镀膜材料YbF3替代传统的有放射性红外镀膜材料ThF4用于制作反可见、中红外、透10.6μm高能激光分色镜取得了较好的效果.同时所研制的分色镜在透射率、反射率,吸收等光学性质,应力硬度牢固度等力学性质,和抗高能激光损伤阈值等方面进行了一系列的测试,基本达到理想的指标.

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