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国际互连技术大会（IITC）在加州Burlingame召开,会上发表的论文广泛探讨了从建模挑战到原子层沉积和自对准阻挡层等主题。
IITC涵盖从等离子建模到铜封装技术
【摘 要】
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国际互连技术大会（IITC）在加州Burlingame召开,会上发表的论文广泛探讨了从建模挑战到原子层沉积和自对准阻挡层等主题。
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2008年8期
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