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<正>自20世纪90年代以来,铟锡氧化物(Indium Tin Oxides,ITO)靶材技术得到了快速的发展,在平面显示器产业半导体集成电路制造和信息存储产业的等领域中都有广泛应用,ITO靶材技术在各种新型电子元器件领域发挥了极为重要的作用。针对显示面板这个新兴产业,工业和信息化部、国家发展和改革委员会已于2014年提出了"新3年行动计划",即支持国