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采用直流磁控溅射制备NiFe／FeCo／[FeCo]xO1-x多层膜，并采用振动样品磁强计、四探针法和微带终端短路微扰法分别对薄膜的磁特性、电阻率以及磁谱进行测量。研究结果表明，薄膜中[FeCo]xO1-X层的加入有效地降低了难易轴矫顽力，提高了薄膜的电阻率和共振频率。随着[FeCo]xO1-1x层厚度的增加，电阻率可提高到173μΩ·cm左右，共振频率可达2．0GHz，有效地降低了薄膜涡流损耗，提高了薄膜的高频特性。