切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
LIGA掩模板的制备与同步辐射X射线深度光刻的研究
LIGA掩模板的制备与同步辐射X射线深度光刻的研究
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kangbb
【摘 要】
:
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节,该技术在深度比要求高的微光、微机械及微机电系统的元件制造
【作 者】
:
朱军
赵小林
【机 构】
:
上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2000年3期
【关键词】
:
LIGA
掩模板
同步辐射
光刻
X射线
LIGA
PMMA
micromaching
MEMS
Mask
Lithography with sync
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
采用同步辐射进行深度X射线光刻是LIGA工艺的关键工序,它包括LIGA掩模板的制备、光刻胶的涂制与深度X射线光刻等多个工艺环节,该技术在深度比要求高的微光、微机械及微机电系统的元件制造领域有独特优势^[1],报道采用LIGA工艺制作微齿轮所涉及上述工艺的研究结果。
其他文献
培养初中生写作兴趣
“写作文难!”这是许多学生的烦恼。学生对作文的畏惧心理不是一朝一夕形成的,那么,怎样才能消除学生对作文的畏难情绪呢?我认为应从培养学生的写作兴趣做起,需要教师指导学生在
期刊
初中
作文
兴趣
钛离子注入硅薄层硅化物结构和特性
用大束流密度的钛金属离子注入硅,能够直接合成性能良好的薄层硅化物,随束流密度的增加,硅化钛生长,薄层硅化物的薄层电阻明显下降,当束流密度(J)为0.75A/m^2时,达到最小值16Ω/□,电阻率达到0.64μΩm。
期刊
离子注入
硅化物
硅化钛
钛
硅
Ti ion implantation
Silicide Synthesis
Ti Silicide
《宗教百科全书》(TheEncycloodediaofReligion)
由美国麦克米兰出版公司1986年出版的16卷本《宗教百科全书》(TheEncyclopediaofReligion)开创了人类认识宗教的新时代。全书面向各界读者,是一部范围广泛,涉及宗教及宗教事务各
期刊
宗教事务
百科全书
出版公司
人类认识
工具书
编委会
人类学
教授
碳钢和合金钢的循环滞回能实验研究
通过对4种碳钢和合金钢的低周疲劳实验,分析了它们的滞回能循环特性及其变化规律,并确定了具有不同循环特性的滞回能数学描述,在实验基础上,提出了疲劳失效的定义,建立了循环
期刊
碳钢
合金钢
循环滞回能
疲劳
实验
cyclic hyteresis loop
cyclic hysteresis energy
fatigue fail
肌上皮细胞的表型分化在涎腺发育及多形性腺瘤中的意义
背景与目的:探讨肌上皮细胞与涎腺发生、涎腺多形性腺瘤发生的关系以及肌上皮细胞的分化状态与肿瘤生物学行为的关系。材料与方法:采用组织学、免疫组化方法对不同发育阶段(胚7
期刊
肌上皮细胞
多形性腺瘤
发育
分化
myoepithelial cell
pleomorphic adenomas
development
differe
右侧卵巢黄体破裂大出血致休克1例
期刊
右侧卵巢黄体破裂大出血
休克
病例报告
急诊剖腹探查术
米索前列醇配伍不同镇痛药在人工流产术中的应用
目的 观察米索前列醇配伍不同镇痛药用于人工流产术时的宫颈软化,扩宫镇痛的效果。方法 180例早孕要求人工流产的妇女分为三组,每组60例,均在术前2h阴道后穹隆放置米索前列醇(简
期刊
人工流产
奈福泮
曲马多
米索前列醇
浅谈教师爱心教学的体会
“没有爱,就没有教育”,前苏联教育家马可连柯这句话道出了教育的真谛。作为一名人民教师,必须以睿智的目光、博大的胸怀,倡导并实践爱的教育,爱学校,爱学生,称学生和学校为“爱人”
期刊
爱心教学
职业道德
教学方法
中学英语阅读的方法及教学策略
阅读的过程是对语言的认知过程,阅读有助于巩固和扩大词汇、丰富语言知识、提高运用语言的能力。阅读可以训练思维能力、理解能力、概括能力与判断能力。“侧重培养阅读能力”
期刊
英语阅读
教学策略
中药风湿骨痛胶囊的制备与质量控制
目的:风湿骨痛胶囊的疗效观察及其质量控制方法的建立。方法:通过治疗风湿性关节炎及类风湿关节炎进行临床验证,采用化学法及薄层色谱法进行质量控制。结果薄层色谱结果显现供试
期刊
中药
风湿骨痛胶囊
制备
质量控制
薄层色谱
与本文相关的学术论文