【摘 要】
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<正> 永久磁铁薄片与薄膜,越来越多地应用在致动技术中。从多个最小磁铁的机械连接过渡到磁性多极分布,可以采用新的系统解决方案。在这方面,认识磁力、膜厚和极宽(极跟)之间
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<正> 永久磁铁薄片与薄膜,越来越多地应用在致动技术中。从多个最小磁铁的机械连接过渡到磁性多极分布,可以采用新的系统解决方案。在这方面,认识磁力、膜厚和极宽(极跟)之间的关系是一个决定性的标准。为了开发利用磁力传输的致动器,需要带有精细磁极分布的永久磁铁薄膜。图1示出一个以永久激励磁阻步进马达为基础的X和XY直接驱动机构,其中要求薄磁片的厚度为100μm。采用现代磁性材料,利用薄膜制作工艺和通过脉冲技术精细磁极结构的最新方法,
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