【摘 要】
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在文[l]基础上,采用改进高温弧放电室结构设计的途径,研制了适宜高温工作的固气两用冷阴极轴向引出改进型彭宁离子源.源结构与改进图1为高温用彭宁源剖面图.针对高温工作时
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在文[l]基础上,采用改进高温弧放电室结构设计的途径,研制了适宜高温工作的固气两用冷阴极轴向引出改进型彭宁离子源.源结构与改进图1为高温用彭宁源剖面图.针对高温工作时关键部件形变对源性能的影响及国外该源型磁场冷却壁紧靠高温弧室,难以实现弧室料炉内高温的结构弱点,本源作的改进是:
On the basis of the paper [1], an improved Pengning ion source with solid-gas dual-purpose cold cathode and axial extraction was developed by improving the structure design of high-temperature arc discharge cell structure. Peng Ningyuan profile.Aiming at the influence of the deformation of the key components on the source performance at high temperature and the foreign magnetic field cooling wall close to the high temperature arc chamber, it is difficult to realize the structural weakness of the high temperature in the arc furnace.
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