【摘 要】
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A monolithic optoelectronic integrated circuit chip on a silicon-on-insulator is designed and fabricated based on complementary metal oxide semiconductor compat
【机 构】
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Department of Information Science and Electronics Engineering, Zhejiang University, Hangzhou 310027
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A monolithic optoelectronic integrated circuit chip on a silicon-on-insulator is designed and fabricated based on complementary metal oxide semiconductor compatible technology.The chip integrates an optical Mach-Zehnder modulator (MZM) and a CMOS driving circuit with the amplification function.Test results show that the extinction ratio of the MZM is close to 20dB and the small-signal gain of the CMOS driving circuit is about 26.9dB.A 50m V 10 MHz sine wave signal is amplified by the driving circuit,and then drives the MZM successfully.
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