集成工艺及设备发展简况

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<正> 现在衡量一个国家现代化程度的重要标志之一就是看其电子技术发展的水平如何。电子技术的两大支柱则是半导体集成技术和计算机技术,而半导体集成技术又是计算机技术发展的基础。半导体集成技术的迅速发展正有力地改变着整个电子工业的面貌,极大地影响着整个工业部门。国外有人称集成电路,特别是大规模集成电路是七十年代中所有革新中的两大突破之一,它将影响到一切部门。集成技术的
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