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采用化学水浴法和磁控溅射法分别在AZO、FTO、ITO透明导电玻璃衬底上制备了CdS薄膜，利用扫描电镜、XRD以及透射光谱等测试手段，研究了两种制备方法对不同衬底生长CdS薄膜形貌、结构和光学性能的影响．研究结果表明，不同方法制备的CdS薄膜表面形貌均依赖于衬底的类型，水浴法制备的CdS薄膜晶粒度较大，表面相对粗糙．不同方法制备的CdS薄膜均为立方相和六角相的混相结构，溅射法制备的多晶薄膜衍射峰清晰、尖锐，结晶性较好．水浴法制备的CdS薄膜透过率整体低于溅射法，但在短波处优势明显．