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本文介绍了ＢＧ－７０３型双面曝光机的对准系统，并对该系统的误差及其产生因素进行理论分析，提出了减小误差的措施。
BG—703型双面曝光机对准系统及误差分析
【摘 要】
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本文介绍了ＢＧ－７０３型双面曝光机的对准系统，并对该系统的误差及其产生因素进行理论分析，提出了减小误差的措施。
【机 构】
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电子部第４５研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1995年1期
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