论文部分内容阅读
微型光机电系统（MOEMS）技术作为一门新兴的技术，已广泛应用于光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面，而利用这种技术制作的光学压力传感器更是具有传统压力传感器无法比拟的优点。本文着重介绍了各类MOEMS压力传感器的结构、工作原理以及制作工艺，最后简要介绍了MOEMS压力传感器阵列的结构和制作工艺。