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针对蓝宝石微结构加工技术中湿法腐蚀后面粗糙度较大的问题,提出优化湿法腐蚀工艺参数,研究湿法腐蚀中腐蚀液浓度、腐蚀液温度及腐......
微型光机电系统(MOEMS)技术是一门新兴的技术,其应用涉及光通信、光显示、数据存储和光学传感等诸多方面,而利用这种技术制作的光......
This paper describes an optical voltage transducer (OVT) for the 35 kV electric power system based on modular interferen......
MEMS器件具有重量轻、体积小和功耗低等优点,可以很好地满足航空飞行器的要求,而将基于MEMS的微型传感器集成用于检测飞行器蒙皮的相......
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