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首先简述了隔振原理及隔振器的分类,在此基础上介绍了选用隔振器的基本原则,并介绍了世界上几款优秀的隔振器,最后对一款日本明立精机主动隔振平台的隔振效果进行了测试与分析。
超精密系统中主被动隔振技术的应用及隔振性能测试分析
【摘 要】
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首先简述了隔振原理及隔振器的分类,在此基础上介绍了选用隔振器的基本原则,并介绍了世界上几款优秀的隔振器,最后对一款日本明立精机主动隔振平台的隔振效果进行了测试与分
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系制造工程研究所
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2007年01期
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