,High Spectral Resolution Mo/Si Multilayers Working at High Order Reflection

来源 :中国物理快报（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：chenshuae9o

【摘要】

：

The high reflectance orders are used to improve the spectral resolution of Mo/Si multilayers. The multilayers for the first-, second- and third-order reflectanc

【作者】

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WU Wen-Juan ZHU Jing-Tao WANG Zhan-Shan ZHANG Zhong WANG Feng-Li WANG Hong-Chang ZHANG Shu-Min XU Yao CHENG Xin-Bin WANG Bei LI Cun-Xia WU Yong-Rong QIN Shu-Ji CHEN Ling-Yan ZHOU Hong-Jun HUO Tong-Lin

【机构】

：

Institute of Precision Optical Engineering, Department of Physics, Tongji University, Shanghai 20009

【出处】

：

中国物理快报（英文版）

【发表日期】

：

2006年9期

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The high reflectance orders are used to improve the spectral resolution of Mo/Si multilayers. The multilayers for the first-, second- and third-order reflectance are designed and optimized, respectively.

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