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中央分析室自制的六氟化铀专用质谱计在测量低丰度(铀-235 丰度小于1% )样品时,准确度较差(相对偏差±1% )。造成误差的主要因素是本仪器存在着明显的二次电子和强峰拖尾。本文从质谱理论和实际测量两方面分析了这两种因素的起因及其解决途径,通过对专用质谱计接收器和高真空系统的改造,消除了以上造成误差的两种主要因素。通过指标测试,证明专用质谱计的改造达到了预期结果(相对偏差小于±0.5% ),改造是成功的