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采用准连续介质方法模拟面心立方（FCC）铝单晶薄膜在纳米压痕下产生的变形过程。分别用四种不同的压头宽度，得出载荷一位移响应曲线和应变能变化曲线，发现压头宽度越大，晶体产生塑性变形的临界载荷越大；临界载荷的大小和采用能量理论预测的大小基本一致；模拟过程中，观察到位错成核现象，了解到载荷一位移响应曲线的突降是由位错成核现象所引起，四种情况中压头载荷的降幅大致相同；最后分析了模型在原子层次下的变形机理。