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本文叙述了蚀刻机的发展，及其传送、摆动、喷嘴等主要结构的变化与对蚀刻效率的影响。同时介绍真空蚀刻机结构与功效。
谈蚀刻设备与真空蚀刻机
【摘 要】
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本文叙述了蚀刻机的发展，及其传送、摆动、喷嘴等主要结构的变化与对蚀刻效率的影响。同时介绍真空蚀刻机结构与功效。
【机 构】
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上海美维科技有限公司
【出 处】
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印制电路资讯
【发表日期】
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2007年1期
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