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蚀刻设备相关论文

通过对微波电场的分布控制产生高度均匀的ECR等离子体

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谈蚀刻设备与真空蚀刻机

本文叙述了蚀刻机的发展，及其传送、摆动、喷嘴等主要结构的变化与对蚀刻效率的影响。同时介绍真空蚀刻机结构与功效。......

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蚀刻设备传送摆动与喷嘴真空蚀刻机

蚀刻设备的现状与发展趋势

概述了蚀刻技术与设备的现状,针对32nm技术节点器件制程对蚀刻设备在双重图形蚀刻、高k/金属栅材料、金属硬掩膜及进入后摩尔时代......

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