TiN/MT-TiCN/Al2O3/ZrCN 多层涂层的热稳定性能研究

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本文采用化学气相沉积(CVD)在WC-Co硬质合金基体上沉积TiN/MT-TiCN/Al2O3/ZrCN多层涂层,并进行微喷砂处理.采用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、显微硬度计、划痕测试仪和往复式摩擦磨损实验机表征涂层的组织结构和性能,通过对比900℃和1 000℃真空退火前后涂层的显微组织结构及性能,研究其热稳定性能.结果表明:真空退火对TiN/MT-TiCN/Al2O3/ZrCN涂层物相无明显影响;900℃退火后,涂层硬度和结合强度分别降低9.4%和46.7%,1000℃退火后,涂层的硬度和结合强度下降幅度更大,分别降低15.6%和59.5%,TiN/MT-TiCN/Al2O3/ZrCN涂层在900℃下热稳定性能较好;由于表面粗糙度增大,退火涂层的摩擦系数略有增加;相比于未退火涂层,由于残余压应力、硬度和结合强度下降,1 000℃退火涂层粘着磨损、磨粒磨损和疲劳磨损加剧,导致磨损率增大,耐磨性降低.
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