【摘 要】
：
本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和安川机器控制器MP2300的特点,并以R-θ型单臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用MP2300进行控制系统设计的思路。试验证明,利用MP2300
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,
论文部分内容阅读
本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和安川机器控制器MP2300的特点,并以R-θ型单臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用MP2300进行控制系统设计的思路。试验证明,利用MP2300作为晶圆传输机械手的运动控制器,开发周期短,机械手运行稳定,控制精度高,完全满足机械手运动控制器的要求。
This paper introduces the status quo of wafer transfer robot and the characteristics of YASKAWA MP2300 controller, and takes R-θ single-arm wafer transfer robot as an example to explain the idea of using MP2300 to design control system. The experiment proves that the MP2300 is used as the motion controller of the wafer transfer robot. The development cycle is short, the manipulator is stable and the control precision is high, which fully satisfies the requirements of the robot motion controller.
其他文献
该论文首先简单地介绍了国内外移动道路测量系统的发展现状,并且阐明了研究开发移动道路测量系统目的和现实意义.接着对移动道路测量系统的原理做了简要的说明,并且重点介绍
随着多传感器数据获取技术的不断发展,多传感器数据的采集已经成为主要的数据获取手段。多传感器的集成数据也越来越多的被应用在三维建模中。当多传感器集成系统中集成了激
地质剖面图是按一定的比例,用规定的符号、花纹和颜色从x,z方向揭示某地区的地层结构与地层岩性特征的图件,能够直观地表达地层的结构和沉积规律。第四纪地质剖面图主要用于
抓点树典型 ,是农村基层工作常用的工作方法 ,也是一种非常有效的办法。一个典型就是一面旗帜。通过抓点 ,更能总结经验教训 ,以利于面上工作的推广。但时下一些基层组织和部
干部考核要能像 X光机那样快速准确地看清一个人，这是江总书记提出的要求。对组织部门而言，最重要的就是要能构造起一架考核干部的“ X光机”，实际上就是要建立起一整套的干部考
共产党是干什么的？是全心会意为人民服务的。这 是党的宗旨。我们建设有中国特色社会主义，其 全部工作的出发点与落脚点，就是全心全意为人民谋利益。离开了人民的利益，共产党没有
目前遥感技术迅猛发展,使我们能够获取极其丰富的信息.信息时代,如何自动处理、解译海量的图像数据是在整个社会信息化过程中面临的重要问题.目前在地面影像的获取方面,实时
☆施耐庵观虎 崇山峻岭，古木参天，林中阴森森的。施耐庵来到一棵大树前看了看，就顺着树干爬了上去，坐在树枝上，机警地观察四周，像是在等待什么。突然，一只梅花鹿“嗖”地从眼前窜过，紧接着传来一声雷鸣般的虎啸，从林中跳出一只斑斓猛虎。下面是一场饿虎扑食和惊鹿逃生的惊心动魄的场面，施耐庵看得如痴如醉，直到老虎走去多时，他才从树上溜下来。这是施耐庵为写《水浒传》而来深山观虎的场面。 ☆柳青找骂 名著《
2013年12月3日消息,41岁的摄影师大卫·马丁·卡斯坦拍摄下绿色北极光照射下的美丽景观。这些壮观的照片包括美丽的瀑布、大块的浮冰、巍峨的山脉等。
December 3, 2013 - T
生理成长是人类生命发展的物质演化,心理成长则是人类与生俱来的精神追求,心理成长的不同最终造就了人与人的显著差别。经济学中一般认为,需求是人类经济活动的基本出发点,如