晶圆传输机械手相关论文
集成电路(IC)制造设备是电子信息产业的核心,是促进经济发展、推动社会进步和加快文明建设的高新技术之一。机械手是晶圆传输系统......
本文介绍了国内晶圆传输机械手的发展现状和安川机器控制器MP2300的特点,并以R-θ型单臂晶圆传输机械手为例,讲解了利用MP2300进行......
随着经济全球化和社会信息化的快速发展,集成电路(IC)逐渐成为电子信息产业的核心,是推动国民经济和社会信息化发展的高新技术之一......
集成电路装备制造产业是国家大力发展的高新技术之一,对于推动国民经济和社会信息化发展有着重要意义。晶圆传输机械手是集成电路......
