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1引言多晶硅薄膜晶体管(P-SiTFT)在有源LCD和有源OLED中都有重要应用。在有源LCD中,a-SiTFT LCD目前占据绝大部分市场,尤其在大尺寸液晶电视和液晶显示器等方面,p-SiTFT LCD只是在中小尺寸中要求高分辨率的应用领域占据了一部分市场。对于有源OLED而言,p-Si TFT的重要性要高于有源LCD,因为OLED是电流型器件,