【摘 要】
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频率信号源已经成为现代通信系统的核心部件,是决定系统性能的关键设备。采用MEMS工艺实验制备了Al-Zn O-Au-Sapphire结构的高次谐波体声波谐振器（HBAR）,基于HBAR的高Q值、多模
【机 构】
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中国科学院声学研究所; 中国科学院大学;
【基金项目】
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国家自然科学基金(11374327)
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频率信号源已经成为现代通信系统的核心部件,是决定系统性能的关键设备。采用MEMS工艺实验制备了Al-Zn O-Au-Sapphire结构的高次谐波体声波谐振器（HBAR）,基于HBAR的高Q值、多模谐振特性,研究实现了高性能的微波点频源及压控形式的跳频信号源,相对于传统的晶体振荡器和DDS+PLL的跳频源技术,电路设计简单,所需硬件数量极少,相位噪声低。测试结果显示:微波点频源输出频率2.962 GHz,输出功率-5.15 dBm,相位噪声达到了-112dBc/Hz@10 kHz,频率稳定度≤8.9×10-5;跳频信号源跳频带宽56 MHz,步进频率为14 MHz,压控灵敏度为14 MHz/1.8 V,频率转换时间短,在导航、通信系统中将得到广泛应用。
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