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本文描述了平行光束经两个光栅依次衍射后的强度随着两个光栅的相对位移而发生变化,分析了光栅间距与这个变化的对比度的关系。提出了一种基于调制搜索原理检测二次衍射零级光强实现高灵敏度、亚微米级精密定位的方法,给出了灵敏度0.1μm,重复定位精度0.2μm 的实验结果。
光栅二次衍射及其在精密定位中的应用
【摘 要】
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本文描述了平行光束经两个光栅依次衍射后的强度随着两个光栅的相对位移而发生变化,分析了光栅间距与这个变化的对比度的关系。提出了一种基于调制搜索原理检测二次衍射零级
【机 构】
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清华大学,清华大学
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1984年4期
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