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激光加工按加工尺度可分为宏观加工，微细加工和光刻本文重点讨论激光在电子器件工业中微细加工及光刻中应用
激光在电子器件工业中的应用
【摘 要】
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激光加工按加工尺度可分为宏观加工，微细加工和光刻本文重点讨论激光在电子器件工业中微细加工及光刻中应用
【机 构】
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中国科学院上海光机所
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1999年1期
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