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建立氮气容性射频等离子体过程的PIC/MC模型,将模拟结果与直流放电进行比较.结果表明：射频等离子体粒子（e,N 2^＋,N^＋）的平均密度较直流放电约大一个量级,在射频电极附近粒子（e,N 2^＋,N^＋）的平均能量比直流放电阴极附近的能量低3倍左右;密度偏低的原子离子N^＋在两电极附近具较高的能量,能量较低的分子离子N 2^＋在放电空间具较高密度,N 2^＋的密度大约是N^＋的6倍;计算的电子能量几率分布与测量结果一致.