N2等离子体相关论文
采用原子层沉积系统中自带的等离子体发生器产生N_2等离子体直接处理InP表面,系统地研究了氮化对Al_2O_3/InP金属氧化物半导体(MOS......
建立氮气容性射频等离子体过程的PIC/MC模型,将模拟结果与直流放电进行比较.结果表明:射频等离子体粒子(e,N 2^+,N^+)的平均密度较直流......
采用PIC-MC自洽模型,模拟了氮气电容性耦合射频放电的微观等离子体过程及带电粒子(e,N2^+,N3的行为。结果表明,离子(N2^+,N^+)的运动状态滞后......
通过预处理联合生物酶处理来改善羊毛纤维表面鳞片层物质结构与羊毛织物的性能。分别采用N2等离子体和过一硫酸盐联合Savinase酶处......