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随着我国制造行业的快速发展，离子溅射镀膜机已经被广泛的运用于半导体集成电路、太阳能光伏、显示器、LED、触摸屏、化工及医药制造等行业中，因此，离子溅射镀膜机对我国制造行业的发展具有重要作用。本文从磁控溅射离子镀膜机的优点入手，对磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计进行研究。
离子溅射镀膜机工件架系统设计研究
【摘 要】
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随着我国制造行业的快速发展，离子溅射镀膜机已经被广泛的运用于半导体集成电路、太阳能光伏、显示器、LED、触摸屏、化工及医药制造等行业中，因此，离子溅射镀膜机对我国制造行
【机 构】
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太原理工大学,山西太重兴业投资发展有限公司
【出 处】
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科技风
【发表日期】
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2014年20期
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