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简要介绍微机械学发展概况及其在航天传感器中的应用，着重介绍微压力传感器、微加速度计和微机械惯性测量组合的工作原理，给出了结构简图，最后给出诺思罗普公司的微机械惯性测量组合中陀螺和加速度计的技术指标。
微机械学发展概况及其在航天传感器中的应用
【摘 要】
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简要介绍微机械学发展概况及其在航天传感器中的应用，着重介绍微压力传感器、微加速度计和微机械惯性测量组合的工作原理，给出了结构简图，最后给出诺思罗普公司的微机械惯性测量
【机 构】
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上海航天局第八○三研究所
【出 处】
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上海航天
【发表日期】
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1994年03期
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