【摘 要】
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High quality and highly conductive n-type Alo.7Ga0.3N films are obtained by using A1N multi-step layers (MSL) with periodical variation of Ⅴ/Ⅲ ratios by low-p
【机 构】
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Beijing National Laboratory For Condensed Matter Physics, Institute of Physics, Chinese Academy of S
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High quality and highly conductive n-type Alo.7Ga0.3N films are obtained by using A1N multi-step layers (MSL) with periodical variation of Ⅴ/Ⅲ ratios by low-pressure metalorganic chemical vapour deposition (LP-MOCVD). The full-width at half-maximum (FWHM) of (0002) and (10i5) rocking curves of the Si-doped Al0.7Ga0.3N layer are 519 and 625 arcsec, respectively. Room temperature (RT) Hall measurement shows a free electron concentration of 2.9 × 1019 cm-3, and mobility of 17.8 cm2 V-1 s-1,corresponding to a resistivity of 0.0121 Ω cm.High conductivity of the Si-doped AIGaN film with such high AI mole fraction is mainly contributed by a remarkable reduction of threading dislocations (TDs) in AlGaN layer. The TD reducing mechanism in AIN MSL growth with periodical variation of Ⅴ/Ⅲ ratio is discussed in detail.
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