【摘 要】
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探讨了采用厚度切变C模式的新型水晶温度传感器优化设计法。该传感器使用ΠЯ切型、平凹结构谐振器、5MHz频率工作。实测数据表明,它具有超高灵敏度和良好的线性特性,其分辨率为0.0005℃,线
【机 构】
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东北传感技术研究所,威海技术监督局
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探讨了采用厚度切变C模式的新型水晶温度传感器优化设计法。该传感器使用ΠЯ切型、平凹结构谐振器、5MHz频率工作。实测数据表明,它具有超高灵敏度和良好的线性特性,其分辨率为0.0005℃,线性度为0.07℃。
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