高温热解聚硅烷制备SiC薄膜初探

来源 :广西师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:cnviy
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用组合成的可溶性聚硅烷 1 71 0 A作涂膜材料 ,进行不同温度的真空热解或高纯氮下热解实验 .通过IR谱和 XPS谱分析 ,在 790~ 81 0 cm-1和 1 2 70 cm-1红外吸收特征峰分别对应 Si— CH3 摇摆振动和伸缩振动吸收峰 ,XP—Si谱给出 Si( 2 P)结合能为 1 0 1 .6e V,CIS为 2 84 .3 e V,证明有 α-Si C∶ H生成 . The composite polysiloxanes were used as film-forming materials in vacuum pyrolysis or high-purity nitrogen pyrolysis experiments at different temperatures.The results of IR and XPS spectra showed that in the range of 790 ~ 81 0 cm-1 and 1 The characteristic peaks of 2 70 cm-1 IR absorption correspond to Si-CH3 rocking vibration and stretching vibration absorption peak, respectively. The XP-Si spectrum gives Si (2 P) binding energy of 1 0 1 .6e V and CIS of 2 84.3 e V, demonstrating the formation of α-Si C: H.
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