【摘 要】
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采用一种新的双电测组合法测试半导体材料的方块电阻和体电阻率,改进了传统直流四探针测试法。以凌阳SPCE061A单片机为控制核心,通过软件设计和硬件电路相结合,设计了一款集半导体导电类型判别与方块电阻、电阻率测量于一体的测试仪。运用冗余通道法、PID算法,提高了系统的测量精度和智能化水平。实际运行结果表明:测量结果与探针间距无关;能自动修正边界影响和自动选择量程,较好地满足了生产与教学需要。
【机 构】
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湖南大学物理与微电子学院长沙410082,湖南商务职业技术学院长沙410205
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采用一种新的双电测组合法测试半导体材料的方块电阻和体电阻率,改进了传统直流四探针测试法。以凌阳SPCE061A单片机为控制核心,通过软件设计和硬件电路相结合,设计了一款集半导体导电类型判别与方块电阻、电阻率测量于一体的测试仪。运用冗余通道法、PID算法,提高了系统的测量精度和智能化水平。实际运行结果表明:测量结果与探针间距无关;能自动修正边界影响和自动选择量程,较好地满足了生产与教学需要。
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