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采用角度细分逐次迭代的有限元分析方法解决了特殊圆弧三角形部件应力和位移分布问题。在单元及单元节点号赋值时采用杨辉三角形排序,并讨论了几何图形的对称变换。本文还给出了纳米测量中微动工作台涉及的柔性铰链有限元分析计算实例。结果表明,本文提出的分析方法更适合计算机求解且迭代次数明显减少,具有简单,清晰的数理概念,该问题的解决为带孔件的应力和位移分布求解提供了新的分析方法。