【摘 要】
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铁电材料作为感光功能薄膜的红外器件研究近年来十分活跃,其良好的压电、铁电、热释电、光电及非线性光学特性以及能够与半导体工艺相集成等特点,在微电子和光电子技术领域有
【机 构】
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北京工业大学光电子技术教育部重点实验室,中国移动通信集团广东有限公司惠州分公司
【基金项目】
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教师队伍建设15青年拔尖项目(311000543115002),国家重点研发计划(2017YFB0402803),国家863项目(2015AA033305),国家科技重大专项(2017YFB0402800,2017YFB0402801)资助项目.
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铁电材料作为感光功能薄膜的红外器件研究近年来十分活跃,其良好的压电、铁电、热释电、光电及非线性光学特性以及能够与半导体工艺相集成等特点,在微电子和光电子技术领域有着广阔的应用前景。实验将铁电材料锆钛酸铅作为感光层与GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)相结合,成功地制备出了感光栅极GaN基HEMT器件,并在波长为365 nm的光照下进行探测,经大量实验测试后发现器件在该波段的光照下饱和电流达到28 mA,相比无光照时饱和电流提高12 mA。另外,通过合理改变器件结构尺寸,包括器件栅长以及栅漏间距,发现随着
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