论文部分内容阅读
在化学机械抛光（CMP）过程中,温度是影响晶片最终抛光效果的主要因素之一,采用合理的温度控制方法,把温度控制在一定的范围内才能满足化学机械抛光的工艺要求。通过化学机械抛光机理分析阐述了抛光过程中热量产生的根源,介绍了一种温度控制系统的设计原理,并通过抛光实验验证并说明了温度控制的必要性。
化学机械抛光(CMP)过程中抛光盘温度控制的分析研究
【摘 要】
：
在化学机械抛光（CMP）过程中,温度是影响晶片最终抛光效果的主要因素之一,采用合理的温度控制方法,把温度控制在一定的范围内才能满足化学机械抛光的工艺要求。通过化学机械抛光
【机 构】
：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
：
2011年8期
其他文献
本文以1997~2010年中国装备制造业七个二位码行业的面板数据为样本,运用基于产出距离函数的随机前沿分析方法以及Brummer等(2002)的全要素生产率变动分解等式,分别从静态和动
农用地分等工作的持续开展使得我国农用地系统内部按照质量进行了不同层次的划分即质量梯级,不过其中每一个梯级的具体值还没有确定,因此需要积极开展耕地生产能力的科学核算
我国社会主义市场经济这一理论是具有中国特色的、社会主义性质的、有关市场经济方面的理论，是党的几代领导人共同的智慧结晶，是中国特色社会主义理论体系的基本内容之一，也是其
地基侧向抗力系数通常假定为沿深度线性增长,这种增长的斜率被称作地基比例系数m。近30 a以来,地基比例系数只能根据规范提供的经验范围查表取值,经验表格过于简单粗糙,一直
英语词汇教学在二语习得中处于主导地位。然而在当今的英语教学中，由于缺少灵活的教学方法，老师常常强调语法结构和单个单词的学习.这导致了学生交流能力的下降。另一方面，学生
特色农业产业化可以促进农村经济的发展,而农村经济的发展又离不开金融支持,金融支持对特色农业产业化起着重要的推动作用。一个完善的特色农业产业链金融支持体系不仅需要为
本文旨在对中国境内主板上市公司的绩效进行综合评价,分析导致境内主板上市公司绩效差异的原因,并提出改变现存状态、缩小上市公司之间绩效差异的政策建议。首先,本研究从境
最近观看了中央电视台播放的纪录片《番茄的胜利》,被番茄在世界的旅行深深吸引。视听素材在地理教学中的应用越来越广泛,观看一部好的纪录片就好像读一本书,其中蕴藏的无穷
以就业为导向,以企业用人标准为依据,通过市场调研问卷与企业"零距离",确立了商务英语专业的岗位(群)和职业能力要求。通过分析论证,改革了商务英语专业的人才培养模式,根据
<正>一、前言在小学管理工作中,班级管理工作发挥着非常重要的作用,为了更好地提升管理工作效率,我们可以尝试把学生放在主体位置,凡事以学生为主要对象,在此基础上科学开展