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荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一 ,通过不断的技术创新 ,在全球光刻机市场上居于领先地位。在简单介绍光刻机基本工作原理和主要技术指标的基础上 ,详细分析了ASML公司在光学光刻技术方面的最新技术进展
ASML公司光学光刻技术最新进展
【摘 要】
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荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一 ,通过不断的技术创新 ,在全球光刻机市场上居于领先地位。在简单介绍光刻机基本工作原理和主要技术指标的基础上 ,详细分析了
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2002年03期
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