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激光清洗工艺在核岛安装中的应用
激光清洗工艺在核岛安装中的应用
来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:t_bear
【摘 要】
:
基于激光设备、激光清洗的原理、激光清洗工艺参数和清洗质量,采用RCC-M体系分析清洗技术在核岛安装工程领域的可行性,指导清洗工艺在核岛安装中的应用,形成清洗工艺研究报告
【作 者】
:
刘文先
郑军
杨祥金
罗林
刘城
于天石
【机 构】
:
中国核工业二三建设有限公司
【出 处】
:
集成电路应用
【发表日期】
:
2020年4期
【关键词】
:
激光清洗工艺
RCC-M体系
核岛安装工程
杂质清洗
laser cleaning processRCC-M systemnuclear island inst
【基金项目】
:
中国核工业二三建设有限公司课题(CNEC-CNI23-KY-2017-04)激光表面清洗工艺研究
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基于激光设备、激光清洗的原理、激光清洗工艺参数和清洗质量,采用RCC-M体系分析清洗技术在核岛安装工程领域的可行性,指导清洗工艺在核岛安装中的应用,形成清洗工艺研究报告,并为新的清洗工艺引进核岛安装工程提供模型。
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