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介绍一项新兴的绿色常压射频冷等离子体喷枪千化学清洗技术,阐述了它在国内外的发展现状、清洗机理和应用前景.
常压射频冷等离子体清洗技术介绍
【摘 要】
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介绍一项新兴的绿色常压射频冷等离子体喷枪千化学清洗技术,阐述了它在国内外的发展现状、清洗机理和应用前景.
【机 构】
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中国科学院微电子研究所
【出 处】
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清洗世界
【发表日期】
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2004年12期
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