氟化物材料在深紫外波段的光学常数

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【摘要】

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研究了紫外领域常用的6种大带隙的氟化物薄膜材料,在氟化镁单晶基底上用热舟蒸发镀制了三种高折射率材料薄膜LaF3,NdF3,GdF3和三种低折射率材料薄膜MgF2,AlF3,Na3AlF6;用商用

【作者】

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薛春荣易葵齐红基邵建达范正修

【机构】

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常熟理工学院江苏新型功能材料实验室; 中国科学院上海光学精密机械研究所; 中国科学技术大学国家同步辐射实验室;

【出处】

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物理学报

【发表日期】

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2009年07期

【关键词】

：

光学常数包络法氟化物材料深紫外

【基金项目】

：

国家自然科学基金(批准号:60678004)资助的课题~~

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研究了紫外领域常用的6种大带隙的氟化物薄膜材料,在氟化镁单晶基底上用热舟蒸发镀制了三种高折射率材料薄膜LaF3,NdF3,GdF3和三种低折射率材料薄膜MgF2,AlF3,Na3AlF6;用商用lambda900光谱仪测量了它们在190—500 nm范围的透射率光谱曲线;用包络法研究了它们的折射率和消光系数,研究了影响透射率和光学常数的主要因素,给出了6种氟化物材料的光学常数公式和光谱色散曲线,为紫外技术与应用研究提供了参考.

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