【摘 要】
：
对于新近发展起来的新一代结构型力敏器件,如硅电容力敏器件、电容型加速度力敏器件等,常规的静电封接工艺已无法满足其小间隙(间隙通常小于10μm)封接的特殊要求,封接后会造
论文部分内容阅读
对于新近发展起来的新一代结构型力敏器件,如硅电容力敏器件、电容型加速度力敏器件等,常规的静电封接工艺已无法满足其小间隙(间隙通常小于10μm)封接的特殊要求,封接后会造成极板间的粘连,导致器件失效。文中结合电容传感器的结构特点,提出了一种小间隙,非粘连的静电封接工艺方法,确定了相应的封接温度、封接电压、封接时间的选择原则,论述了容性器件封接中的相关问题。该工艺已成功地应用于硅电容传感器的制作中,效果良好,对于结构型力敏器件的制作具有较强的实用价值。
其他文献
ZG-18铸钢是一种不含镍的铸造结构钢,用代替飞机上的某些受力模锻件。虽然在同强度条件下铸钢的塑性、冲击韧性及疲劳强度比锻钢差,但其KIC和（da/dN）却优于锻钢,所以从破损安全
简要回顾了我国绿色建材相关技术研究、应用现状及其标准化发展进程,针对我国绿色建材发展中存在的问题进行了分析,并提出了相应的建议。
艾达·泽特林1927年的英文版《格斯尔汗》鲜为人知,但却是《格萨尔》史诗在早期英语世界的重要版本。以封面上的＂TOLD BY＂（＂述说＂）为出发点进行探索,发现泽特林将该书定位为＂述
<正>猴头菇牛皮糖是在牛皮糖加工配方中,添加猴头菇粉制成。它既保持了牛皮糖的特性,又增加了猴头菇粉成分,是一种很好的保健强身糖果。一、原料配方砂糖10千克,饴糖8千克,绿
高校教育者道德引领作用弱化及社会腐败的不良影响,使学校廉洁教育渗透力不足。传统家训教育“勤”“俭”保身、“廉”以立身行德的廉洁观能提供可操作性的借鉴。通过强化教
随着智能手机的普及,微信营销和微信支付已经成为一种新兴的移动消费方式。中学生作为一个特殊的消费群体,这种新兴消费方式带给他们的影响利弊并存。本文首先分析了新媒体时
近年来,随着高校扩招,毕业生就业成为了民办高校的首要问题。因此,摸索出一条具有民办高校特色、适合民办高校毕业生就业的办学模式是保证民办高校健康发展的重要任务。文章
英国诗人雪莱与土库曼斯坦诗人马赫图姆库里都是伟大的民主诗人,是广大人民群众的歌者。他们的诗歌坚定地反抗暴政,蕴含了对民主社会的美好预言。然而,雪莱是社会"激烈的反叛
随着工业4.0时代的到来,发展智能工厂和智能制造产业已经成为各国的共识。智能制造过程十分复杂,通常由多个环节构成,每一个环节都采用一到多种智能制造装备完成。智能制造装
以苹果汁与大米糖化液为原辅料,酵母茵和醋酸茼作为发酵菌种。深入探讨了酒精发酵与醋酸发酵的工艺条件。结果表明:最佳条件为苹果汁与大米糖化液比例1∶1,调整糖浓度12%、酒