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综述了磁控溅射技术在固体氧化物燃料电池(SOFCs)中应用的研究进展。基于SOFCs中的不同组件，磁控溅射技术在SOFCs中的应用主要分为四个部分：磁控溅射技术在电解质隔层、电解质薄膜、连接体、电极制备中的应用。磁控溅射技术利用其独特的特点，克服了SOFCs相邻组件在制备过程中的元素扩散和界面反应，成功解决了电解质与电极、电极与连接体等相邻组件间的化学相容性差的问题，并且能够在较低温度下制备出与基底结合良好的具有不同微观结构和性质的薄膜，显著减少了SOFCs的欧姆电阻与极化电阻，提高了电池中低温性能，为提