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影响激光跟踪干涉测量系统精度的关键部位是它的跟踪转镜机构,入射光在跟踪转镜上的入射位置偏离旋转中心,对测量精度影响很大,而且只能人工调整激光入射在跟踪转镜上的位置.本文从入射光和反射光出发,提出的检测方法对这一个问题的解决有一定的指导作用.
跟踪机构精度检测的研究
【摘 要】
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影响激光跟踪干涉测量系统精度的关键部位是它的跟踪转镜机构,入射光在跟踪转镜上的入射位置偏离旋转中心,对测量精度影响很大,而且只能人工调整激光入射在跟踪转镜上的位置.
【机 构】
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精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2003年5期
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