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用于晶体生长过程监控的高精确度称重系统设计
用于晶体生长过程监控的高精确度称重系统设计
来源 :哈尔滨理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liyuanzhen001
【摘 要】
:
针对晶体制造过程中晶体重量变化缓慢,且其制造过程中,现有称重系统准确度不够的问题,设计了一种在监测晶体生长过程中,重量变化的高精确度称重系统.采用高精确度称重传感器确保测
【作 者】
:
景忠杰
李欣
董静薇
【机 构】
:
哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院
【出 处】
:
哈尔滨理工大学学报
【发表日期】
:
2007年2期
【关键词】
:
晶体生长过程
称重系统
LTC2400
crystal growing process weight system LTC2400
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针对晶体制造过程中晶体重量变化缓慢,且其制造过程中,现有称重系统准确度不够的问题,设计了一种在监测晶体生长过程中,重量变化的高精确度称重系统.采用高精确度称重传感器确保测量准确度,采用软件滤波的方法提高系统的抗干扰能力,同时通过系统上位机对晶体生长过程进行实时监控和重量曲线记录。
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