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本文设计了基于激光干涉仪的角度测量装置,该装置通过丝杆与齿轮传动装置将直线位移转换为角位移,从而利用激光干涉仪位移测量的高分辨力实现角度的精密测量。
基于激光干涉仪的角度测量装置
【摘 要】
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本文设计了基于激光干涉仪的角度测量装置,该装置通过丝杆与齿轮传动装置将直线位移转换为角位移,从而利用激光干涉仪位移测量的高分辨力实现角度的精密测量。
【机 构】
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重庆市计量质量检测研究院
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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2017年5期
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