【摘 要】
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为了降低光抽运外腔面发射激光器的热效应，提高激光器的输出功率，采用液体毛细键合方法将逆序生长的半导体外延片与高热导率的碳化硅散热窗口键合，并用化学刻蚀方法去除外延片的
【机 构】
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重庆师范大学物理与电子工程学院,重庆师范大学重庆市高校光学工程重点实验室,中国电子科技集团公司第四十四研究所,中国科学院长春精密机械与物理研究所
【基金项目】
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基金项目：重庆市高校创新团队建设计划资助项目（201013）,重庆市高校光学工程重点实验室资助项目（0705）,重庆师范大学博士启动基金资助项目（11XLB014）
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为了降低光抽运外腔面发射激光器的热效应，提高激光器的输出功率，采用液体毛细键合方法将逆序生长的半导体外延片与高热导率的碳化硅散热窗口键合，并用化学刻蚀方法去除外延片的基质。实验研究了用基质刻蚀的外延片搭建的外腔面发射激光器的性能。当增益介质的有源区为InGaAs／A1GaAs多量子阱、抽运源为808nm的光纤耦合输出半导体激光器，输出镜对激光波长透过率为3％时，在室温下获得TEM00模的最大输出功率0．52W，激光波长1018nm，光谱线宽2nm（半峰全宽），激光器的光光转换效率约为20％。测得z方向与Y
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