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IC制造中氮化硅薄膜的制备方法
IC制造中氮化硅薄膜的制备方法
来源 :常州信息职业技术学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jurenyaoyao
【摘 要】
:
氮化硅薄膜是芯片制造中广泛运用的一种绝缘薄膜,其可用作芯片表面的掩蔽膜及钝化膜。简要介绍IC制造中几种主要的氮化硅薄膜的制备技术,并探讨新型的制备技术。
【作 者】
:
余建
【机 构】
:
常州信息职业技术学院电子与电气工程学院
【出 处】
:
常州信息职业技术学院学报
【发表日期】
:
2009年1期
【关键词】
:
氮化硅
绝缘膜
掩蔽膜
钝化膜
Si3N4 insulator film screen film passivation fdm
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氮化硅薄膜是芯片制造中广泛运用的一种绝缘薄膜,其可用作芯片表面的掩蔽膜及钝化膜。简要介绍IC制造中几种主要的氮化硅薄膜的制备技术,并探讨新型的制备技术。
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